高纯气体是指气体中掺杂杂质非常少的气体。在许多工业领域，高纯气体的应用非常广泛，如半导体制造、光伏产业、化学分析等。为了确保高纯气体的纯度达到标准，需要进行相应的标准与测试方法。下面将详细介绍高纯气体的纯度标准与常见的测试方法。
首先，高纯气体的纯度标准通常是根据应用的需求来确定的。一般来说，高纯气体的纯度可以根据杂质的种类和浓度进行定义。常见的高纯气体包括氧气、氮气、氦气、氢气等。以下是一些常见高纯气体的纯度标准：
1. 氧气：工业级氧气的纯度要求为99.5%以上，电子级氧气的纯度要求更高，达到99.999%以上。
2. 氮气：工业级氮气的纯度要求为99.9%以上，电子级氮气的纯度要求更高，达到99.999%以上。
3. 氢气：工业级氢气的纯度要求为99.9%以上，电子级氢气的纯度要求更高，达到99.999%以上。
4. 氦气：工业级氦气的纯度要求为99.99%以上，超高纯氦气的纯度要求更高，达到99.999%以上。
其次，高纯气体的纯度测试方法主要包括物理方法和化学方法两种。
1. 物理方法：物理方法主要是利用气体的物理性质来判断其纯度。常见的物理测试方法有：
(1) 压力计法：通过测量气体的压力来判断其纯度。高纯气体的压力通常较低，压力计可以实时监测气体的压力变化，从而判断气体的纯度。
(2) 流动速度法：高纯气体的流动速度通常较高，可以通过测量气体在管道中的流速来判断其纯度。常见的测量方法有质量流量计和涡街流量计等。
(3) 气体色谱法：气体色谱法是一种常用的分离和测量气体成分的方法。通过气体色谱仪可以分析出气体中各种组分的浓度，进而判断气体的纯度。
(4) 红外吸收法：红外吸收法是一种利用气体对特定波长的红外光的吸收来测量气体成分的方法。通过红外吸收光谱仪可以准确测量气体中各种组分的浓度。
