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氦气的检漏流程

2021-12-15 12:55:35

任何仪器在制作过程中,难免会遇到密封不严的情况,某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系,但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及高端仪器中,良好的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要。市面上有各种检漏仪器,常见的载气有氮气、氢气、氦气等。


雄安工业气体小编介绍在设备和厂房当中,常常有一些管道等俩接的部位,这些地方的封接处可能存在肉眼难以察觉的细小孔洞,在使用时如果不注意就会导致泄露,从而造成事故。利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。


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如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件,将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过这些小孔进入到元件内部。


使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。氦气的价格不菲,进行一次氦气检漏的费用自然不低。氦气检漏就是利用了氦气分子小,能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。


检测时首先探测到氦气的露点,得到氦气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氦检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。



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