保定高纯气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等，所以可将组成气体的物质或元素，称为该气体成分。除本气体成份外，所含其它物质的多少。例如氮气的纯度，是指除N成份外，含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金属、尘粒等杂质的多少；氨气的纯度，是指除NH3成份外，含有的O2、N2、CO2、H2O、尘粒等杂质的多少；又如氮和氦的混合气，是指除N2和He成份外，含有的O2、CO2、H2O尘粒等杂质的多少。
保定高纯气体纯度的提法有多种，如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等，随着超大规模集成电路（VLSI）和特大规模集成电路（ULSI）的发展，又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切，只是粗略的讲了气体纯度的高低，没有真正说明气体纯度的大小。
气体纯度常用的表示方法：用百分数表示，如99%，99.5%，99.9%，99.99%，99.999%，99.9999%，99.99999%等。用“N”表示，如3N，5N，4.8N，5.5N，6N，7N等，N数目与（1）中的“9”的个数相对应，小数点后的数表示不足“9”的数。如4N（99.99%），4.8N(99.998%)、5.5N(99.9995%)、6N（99.9999%）、7N(99.99999%))等。
根据气体纯度的不同，通常又将气体纯度分为四级，即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体。所谓的高纯气体配管技术，是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等；是高纯气体供应系统的重要组成部分；是保证高纯气体安全稳定地输送到用气点，且符合设备使用要求的关键技术。
高纯气体管道系统工程有着能保证气体的纯度、保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化等特点，广泛应用于半导体、集成电路、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、科研研究所、标准测试等高科技行业。
